概要
- 半導体分野で汎用性の高いVCR/スウェージロック継手に対応
半導体分野で汎用性の高い規格の、VCR1/4オスねじ相当品、スウェージロック、チューブ継手1/4相当品構造となっていますので、高い耐リーク性能を保持しています。 - 半導体分野で活躍する低圧用設計
真空や低圧環境の中でも、非直線性±0.2%R.C.の高精度測定が可能です。ゲージ圧タイプ、絶対圧タイプの2種類をご用意していますので、加圧・連成圧・負圧/絶対圧などずべての圧力種別に対応しています。 - 優れた耐腐食性能
接液部材質SUS316Lに加え、さらにダイアフラム部の材質にハステロイC22を採用しているため、測定媒体の選択肢がひろがります。 - 幅広いバリエーション
2種類の接続部形状、3種類のアナログ出力、3種類のケーブル接続形状を組み合わせてご選択いただけますので、システムにフィットした圧力伝送器をご選定いただくことが可能です。
- VCRはCAJON COMPANYの登録商標です。
- スウェージロックはCrawford Fittingの登録商標です。